等離子發射氣相色譜儀適用于超高純氣體中ppt級雜質的檢測，系統配備具有超高靈敏度的等離子發射檢測器，多點串聯式載氣純化系統，采用內壁經Steak鈍化處理的合金色譜柱管材，經過交聯抗氧化處理色譜柱擔體，防止拖尾和氧吸附的發生。
等離子發射氣相色譜儀等離子發射檢測器是一個靈敏度的通用型檢測器，其內部有一個設計*的，加載高頻高壓電場的石英腔體。當氣體樣品通過石英腔體時被高壓發生器電離，產生一種叫做場致發光的熒光現象并發射出特征譜線，發射譜線隨著載氣中不同物質而發生變化，用這種光發射技術來對樣品進行定量分析。
檢測器產生的光信號被光學系統檢測到，光學系統包括濾光片和光電二極管，濾光片會根據波長選擇性地濾出光信號，并通過光電二極管轉化為電信號，經信號電壓發大器將信號放大到分析所需的程度。
等離子發射氣相色譜儀技術特點
1、經特殊加工的色譜柱技術
（1） 色譜柱管材采用合金材料，內壁經Steak鈍化處理，防止吸附和一氧化碳拖尾等問題的產生
（2） 色譜柱擔體均經過交聯抗氧化處理，避免發生氧吸附
（3） 采用獲得國家的微型填充柱技術，樣品的分離，兼顧分離、穩定與快速
（4） 氧氬可實現分離
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