高純氣體分析色譜儀適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質的檢測，儀器配備高靈敏度的氦離子化(PDHID)檢測器，采用中心切割與反吹技術，配置具有吹掃保護氣路的進樣切換閥和進口氦氣純化器，通過無死體積取樣或在線進樣方式，一次性完成上述高純氣體中H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質或C1-C4等碳氫化合物的檢測，檢測限達ppb級，重復性RSD≤1%。
高純氣體分析色譜儀是利用氦中穩定的，低功率脈沖放電作電離源，使被測組分電離產生信號。對所有物質均有高靈敏度的正響應。
1.脈沖放電間隔和功率高純氣體分析PDHID中放電電極距離為1.6mm，改變充電時間可改變經過初級線圈的放電功率。充電時間越長、功率越大。一般脈沖間隔為200-300μs,充電時間在40-45μs，基流和響應值達z佳。因放電時間僅為1μs，而脈沖周期達幾百微秒，絕大部分時間放電電極是空載。所以放電區不會過熱。
2.偏電壓在放電區相鄰的電極上加一恒定的負偏電壓。響應值隨偏電壓的增加而急劇增大，很快即達飽和。在飽和區響應值基本不隨偏電壓而改變。PDHID在飽和區內工作，噪聲較低。基流與偏電壓的關系同響應值與偏電壓。
3.通過放電區的氦流速高純氣體分析氦通過放電區有兩個目的：a保持放電區的潔凈，以便氦被激發;b它作為尾吹氣加入，以減少被測組分在檢測器的滯留時間。只是它和傳統的尾吹氣加入方向相反。池體積為113ul，對峰寬為5s的色譜峰，要求氦流速為6.8-13.6ml/min，如果峰寬窄至1s，流速應提高到34-68ml/min，以保持被測組分在檢測器的滯留時間短至該峰寬的10%-20%。
4.高純氣體分析色譜儀電離方式和性能特征高純氣體分析PDHID的電離方式尚不十分明朗，綜合文獻敘述，電離過程有三部分組成：a氦中放電發射出13.5-17.7eV的連續輻射光進行光電離;b被高壓脈沖加速的電子直接電離組分AB，產生信號，或直接電離載氣和雜質產生基流;c亞穩態氦與組分反應電離產生信號，或與雜質反應電離產生基流。.
e+AB→AB++2e
e+He→He**→He*+hν
He*+AB→AB++e+He
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